Керамические мишени из оксидных и дорогостоящих отработанных материалов


Керамические мишени из отработанных материалов


Область применения и назначения: Предназначены для формирования тонких пленок в электронике, сенсорике и микромеханике.

Технические характеристики:
Относительная плотность - 95…97 %;
Остаточная пористость - 3…5 %;
Предел прочности при сжатии - более 300 МПа.

Преимущества: Мишени имеют повышенный ресурс работы в 1,2 - 1,5 раза по сравнению с традиционными материалами; стоимость мишеней в 1,5 - 2 раза дешевле лучших зарубежных аналогов.

Научно-технический уровень, патентная чистота: На уровне лучших отечественных и зарубежных аналогов. Патентная чистота обеспечена в странах СНГ.